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PCT发明

用于在卷材涂覆工艺中使用的滚筒装置、卷材涂覆设备和用于在卷材涂覆工艺中控制卷材的温度的方法

2023-07-06 10:25:28 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080106436.2
  • 公开（公告）日：2025-02-25
  • 公开（公告）号：CN116391061A
  • 申请人：应用材料公司
摘要：一种用于在真空条件下的卷材涂覆工艺中导引卷材(12)的滚筒装置(10)、一种包含包括所述滚筒装置(10)的真空腔室(16)的卷材涂覆设备(14)、和一种用于在真空条件下的卷材涂覆工艺中控制卷材(12)的温度的方法。所述滚筒装置(10)包含：‑可旋转滚筒(100)，所述可旋转滚筒具有面向卷材表面(102)，所述面向卷材表面包含第一面向卷材表面部分(104)；‑气体分配系统(400)，所述气体分配系统用于将包括气体组成物的气流(115)提供到在所述卷材(12)与所述第一面向卷材表面部分(104)之间的表示为第一空隙(110)的空隙中，所述气体组成物包含气体、和/或液体的蒸气；和‑温度调整系统(300)，所述温度调整系统经适配以用于控制所述第一面向卷材表面部分(104)的温度，使得所述气体组成物以所述气体和/或所述液体改变聚集状态的方式冷却，由此在所述第一空隙(110)中形成非气态垫(116)。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116391061 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202080106436.2 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 (22)申请日 2020.10.21 专利代理师 徐金国　吴启超 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 (51)Int.Cl . 2023.04.19 C23C 14/56 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/079646 2020.10.21 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/083857 EN 2022.04.28 (71)申请人 应用材料公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 格德 ·霍夫曼　 托尔斯滕•布鲁诺•迪特尔　 托马斯 ·德皮施　罗兰 ·特拉斯尔　 权利要求书3页 说明书10页 附图3页 (54)发明名称 式冷却，由此在所述第一空隙(110)中形成非气 用于在卷材涂覆工艺中使用的滚

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