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发明

图案化氧化锌层的制备方法及其应用2023

2023-12-17 07:55:56 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202311141181.5
  • 公开（公告）日：2023-12-15
  • 公开（公告）号：CN117228626A
  • 申请人：深圳大学|||深圳市银宝山新科技股份有限公司
摘要：本申请提供了一种图案化氧化锌层的制备方法，该制备方法利用聚焦离子束辐照分解醋酸锌得到图案化氧化锌层，可以满足亚微米级和/或微米级尺寸的图案化氧化锌层的制备需求，且制备方法简单快捷、成本低廉。该制备方法生成的图案化氧化锌层可以用于作为种子层垂直生长氧化锌纳米棒阵列，该法制得的氧化锌纳米棒阵列的生长密度不受制约，且无需退火，适合在柔性衬底上应用。本申请还提供了该制备方法制得的图案化氧化锌层作为掩模板，采用电感耦合等离子体刻蚀法制备光栅结构的应用。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117228626 A (43)申请公布日 2023.12.15 (21)申请号 202311141181.5 B82Y 40/00 (2011.01) C01G 9/02 (2006.01) (22)申请日 2023.09.05 G02B 5/18 (2006.01) (71)申请人 深圳大学 地址 518000 广东省深圳市南山区南海大 道3688号 申请人 深圳市银宝山新科技股份有限公司 (72)发明人 郭登极　杨彦东　廖健翔　刘聪　 胡作寰　高国利　刘宇航　林建军　 许佼　王序进　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 王勤 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) B82B 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图4页 (54)发明名称 图案化氧化锌层的制备方法及其应用 (57)摘要 本申请提供了一种图案化氧化锌层的制备 方法，该制备方法利用聚焦离子束辐照分解醋酸 锌得到图案化氧化锌层，可以满足亚微米级和/ 或微米级尺寸的图案化氧化锌层的制备需求，且 制备方法简单快

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