图案化氧化锌层的制备方法及其应用2023

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117228626 A (43)申请公布日 2023.12.15 (21)申请号 202311141181.5 B82Y 40/00 (2011.01) C01G 9/02 (2006.01) (22)申请日 2023.09.05 G02B 5/18 (2006.01) (71)申请人 深圳大学 地址 518000 广东省深圳市南山区南海大 道3688号 申请人 深圳市银宝山新科技股份有限公司 (72)发明人 郭登极　杨彦东　廖健翔　刘聪　 胡作寰　高国利　刘宇航　林建军　 许佼　王序进　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 王勤 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) B82B 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图4页 (54)发明名称 图案化氧化锌层的制备方法及其应用 (57)摘要 本申请提供了一种图案化氧化锌层的制备 方法，该制备方法利用聚焦离子束辐照分解醋酸 锌得到图案化氧化锌层，可以满足亚微米级和/ 或微米级尺寸的图案化氧化锌层的制备需求，且 制备方法简单快