发明

一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法2023

2023-12-25 07:20:53 发布于四川 1
  • 申请专利号:CN202311256989.8
  • 公开(公告)日:2023-12-19
  • 公开(公告)号:CN117248178A
  • 申请人:湖南麓星光电科技有限公司
摘要:本发明提供一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法,其中,实时监测镜片面形的镀膜装置包括机壳,机壳内设有用于放置镀膜基片的工件盘,工件盘上均匀放置有镀膜基片以及陪镀片,还包括光透组件、光探测设备、轰击组件、数据采集分析设备和修正板,光透组件包括激光发射器、准直透镜、分光镜和平晶。从而,在镀膜过程中通过对陪镀片上产生的干涉光信息实现实时监测镀膜后的镜片膜层的光学均匀性、表面平整度的参数。同时,依据数据采集分析设备获取到的镜片膜层光学均匀性、表面平整度的参数在镀膜过程中对修正板进行目标位置的调节及调节轰击组件的沉积速率,在镀膜过程中及时做出相应调整,使镀膜后的镜片膜层表面均匀平整。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117248178 A (43)申请公布日 2023.12.19 (21)申请号 202311256989.8 (22)申请日 2023.09.27 (71)申请人 湖南麓星光电科技有限公司 地址 410004 湖南省长沙市天心区新岭路 62号湖南生态医博园(天心软件产业 园)A区A-1栋101 (72)发明人 刘永利 姜海 范鹏 刘俞含  (74)专利代理机构 沈阳智龙专利事务所(普通 合伙) 21115 专利代理师 吴迪 宋铁军 (51)Int.Cl. C23C 14/10 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图3页 (54)发明名称 一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜 方法 (57)摘要 本发明提供一种实时监测镜片面形的镀膜 装置及镀膜方法,其中,实时监测镜片面形的镀 膜装置包括机壳,机壳内设有用于放置镀膜基片 的工件盘,工件盘上均匀放置有镀膜基片以及陪 镀片,还包括光透组件、光探测设备、轰击组件、 数据采集分析设备和修正板,光透组件包括激光 发射器、准直透镜、分光镜和平晶。从而,在镀膜 过程中通过对陪镀片上产生的干涉光信息实现 实时监测镀膜后的镜片膜层的光学均匀性、表面 平整度的参数。同时,依据数据采集分

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