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发明

一种钛铝合金靶材及其制备方法2025

2023-12-25 08:00:05 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202311430895.8
  • 公开（公告）日：2025-06-03
  • 公开（公告）号：CN117265489A
  • 申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种钛铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：按照合金成分设计要求混合海绵钛和铝块，熔炼后依次进行等温轧制、退火以及机械加工后得到所述钛铝合金靶材；所述熔炼包括依次进行的一次熔炼、二次熔炼以及三次熔炼。本发明通过采用电子束熔炼法多次熔炼获得成分和组织均匀，内部无缺陷的铸锭；使用等温轧制方法将铸坯加工成晶粒细小均匀的靶坯。本发明提供的方法能有效控制钛铝合金靶材的性能，适用于批量生产。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117265489 A (43)申请公布日 2023.12.22 (21)申请号 202311430895.8 C22F 1/18 (2006.01) C22F 1/02 (2006.01) (22)申请日 2023.10.31 C21D 9/00 (2006.01) (71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司 B21B 3/00 (2006.01) 地址 315400 浙江省宁波市余姚市经济开 B21B 37/74 (2006.01) 发区名邦科技工业园区安山路 (72)发明人 姚力军　潘杰　陈石　廖培君　 周友平　 (74)专利代理机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 11659 专利代理师 牛海燕 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) C22C 1/02 (2006.01) C22B 9/22 (2006.01) C22C 14/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 (54)发明

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