一种大尺寸管状靶材包套及其用途2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117488253 A (43)申请公布日 2024.02.02 (21)申请号 202311556889.7 (22)申请日 2023.11.21 (71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余姚市经济开 发区名邦科技工业园区安山路 (72)发明人 姚力军　潘杰　李建　廖培君　 (74)专利代理机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 11659 专利代理师 刘春青 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) B22F 3/15 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种大尺寸管状靶材包套及其用途 (57)摘要 本发明提供一种大尺寸管状靶材包套及其 用途，所述大尺寸管状靶材包套包括从内至外依 次设置的锥形内包套管、防粘连垫片和外包套 管；所述锥形内包套管的锥度为1:20～1:25；所 述大尺寸管状靶材包套的长度为3 ～4m。本发明 所述的大尺寸管状靶材包套的内包套管采用锥 度设计，而且在锥形内包套管的表面覆盖的薄不 锈钢片，可防止管坯材料和锥形内包套管粘连， 便于锥形内包套管和管坯材料分离；而且锥形内 包套管可重复利用，降低了管状靶材的加工成 本。 A 3 5 2 8 8 4 7 1 1 N C CN 117488253 A 权　利　要　求　书