具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞测试方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690576 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011625851.7 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 上海微电子装备（集团）股份有限公 司 地址 201203 上海市浦东新区张东路1525 号 (72)发明人 余斌　罗晋　赵丹平　王莘元　 (74)专利代理机构 上海思捷知识产权代理有限 公司 31295 专利代理师 王宏婧 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 具有碰撞测试功能的浸没光刻装置及碰撞 测试方法 (57)摘要 本发明提供了一种具有碰撞测试功能的浸 没光刻装置及碰撞测试方法，所述具有碰撞测试 功能的浸没光刻装置包括：浸没单元；测试单元， 包括测试件、测试线路和电气测试仪，所述电气 测试仪通过所述测试线路分别与所述浸没单元 和所述测试件电连接，所述电气测试仪用于测试 所述浸没单元和所述测试件之间的电阻和/或电 容，以判断所述浸没单元和所述测试件在运行过 程中二者之间是否发生碰撞；以及，承载单元，用 于承载所述测试件，所述承载单元设置于所述浸 没单元的下方。本发明的技术方案能够准确判断 A 浸没单元与测试件在运行过程中二者之间是否 6 发生碰撞，使得能够评估防碰撞功能的有效性， 7 5 0 进而确保光刻机的安全运行。 9 6 4 1 1