超声换能器器件2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219765916 U (45)授权公告日 2023.09.29 (21)申请号 202223066986.1 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2022.11.18 (30)优先权数据 102021000029288 2021.11.19 IT 18/053,718 2022.11.08 US (73)专利权人 意法半导体股份有限公司 地址 意大利阿格拉布里安扎 (72)发明人 D ·朱斯蒂　M ·费雷拉　 L ·滕托里　 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 专利代理师 丁君军 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书13页 附图10页 (54)实用新型名称 超声换能器器件 (57)摘要 本公开的实施例一种超声换能器器件，包括 具有第一主表面和第二主表面的半导体本体并 且包括 ：第一腔室，其在距所述第一主表面一定 距离处延伸到所述半导体本体中；由所述半导体 本体在所述第一主表面和所述第一腔室之间形 成的膜；膜上的压电元件；在所述第一腔室和所 述第二主表面之间延伸到所述半导体本体中的 第二腔室 ；中心流体通道，所述中心流体通道从 所述第二主表面到所述第一腔室延伸到所述半 导体本体中并且横穿所述第二腔室