一种铝钛合金靶材的表面加工方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116160026 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202310197740.8 (22)申请日 2023.03.03 (71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余姚市经济开 发区名邦科技工业园区安山路 (72)发明人 姚力军　潘杰　梁泽民　王学泽　 (74)专利代理机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 11659 专利代理师 徐浩 (51)Int.Cl. B23B 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 (54)发明名称 一种铝钛合金靶材的表面加工方法 (57)摘要 本发明提供了一种钛铝合金靶材的表面加 工方法，所述表面加工方法包括 ：使用刀具对钛 铝合金靶材的待加工面进行车削处理；车削处理 过程中使用的车削液为乳化液的水溶液，乳化液 的水溶液的体积浓度为11‑15wt％；所述刀具的 型号为CCGX120404。本发明提供的表面加工方法 通过车削液与刀具的配合，能够延长刀具的使用 寿命，且能够将钛铝合金靶材的表面粗糙度降低 至0.3μm以下。 A 6 2 0 0 6 1 6 1 1 N C CN 116160026 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种钛铝合金靶材的表面加工方法，其特征在于，所述表面加工方法包括：