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发明

清洗部件安装机构及基板清洗装置

2023-07-03 11:02:40 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202110614631.2
  • 公开（公告）日：2025-06-10
  • 公开（公告）号：CN113751448A
  • 申请人：株式会社荏原制作所
摘要：一种清洗部件安装机构及基板清洗装置，清洗部件安装机构具有：清洗部件保持部(200)，该清洗部件保持部能够安装具有用于对基板(W)进行清洗的清洗部件的清洗部件组件(100)；部件旋转部(180)，该部件旋转部使由所述清洗部件保持部(200)保持的所述清洗部件组件(100)旋转；以及移动部(150)，该移动部使所述清洗部件保持部(200)以拆卸了所述清洗部件组件(100)的状态沿着轴向进行移动，并且定位于限制所述清洗部件保持部(200)的旋转的旋转固定位置。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113751448 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202110614631.2 B08B 3/02 (2006.01) B08B 3/08 (2006.01) (22)申请日 2021.06.02 B08B 13/00 (2006.01) (30)优先权数据 H01L 21/67 (2006.01) 2020-097110 2020.06.03 JP (71)申请人 株式会社荏原制作所 地址 日本国东京都大田区羽田旭町11番1 号 (72)发明人 宫崎充　藤本友章　井上拓也　 (74)专利代理机构 上海华诚知识产权代理有限 公司 31300 代理人 张丽颖 (51)Int.Cl. B08B 11/00 (2006.01) B08B 11/04 (2006.01) B08B 1/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书13页 附图20页 (54)发明名称 清洗部件安装机构及基板清洗装置 (57)摘要 一种清洗部件

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