清洗部件安装机构及基板清洗装置
- 申请专利号:CN202110614631.2
- 公开(公告)日:2025-06-10
- 公开(公告)号:CN113751448A
- 申请人:株式会社荏原制作所
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113751448 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202110614631.2 B08B 3/02 (2006.01) B08B 3/08 (2006.01) (22)申请日 2021.06.02 B08B 13/00 (2006.01) (30)优先权数据 H01L 21/67 (2006.01) 2020-097110 2020.06.03 JP (71)申请人 株式会社荏原制作所 地址 日本国东京都大田区羽田旭町11番1 号 (72)发明人 宫崎充 藤本友章 井上拓也 (74)专利代理机构 上海华诚知识产权代理有限 公司 31300 代理人 张丽颖 (51)Int.Cl. B08B 11/00 (2006.01) B08B 11/04 (2006.01) B08B 1/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书13页 附图20页 (54)发明名称 清洗部件安装机构及基板清洗装置 (57)摘要 一种清洗部件
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