一种真空镀膜机的蒸发装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288174 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310124435.6 (22)申请日 2023.02.16 (71)申请人 铜陵市超越电子股份有限公司 地址 244000 安徽省铜陵市狮子山区纬一 路东段1111号（1#厂房、2#仓库） (72)发明人 刘同林　汪秀义　 (74)专利代理机构 合肥东信智谷知识产权代理 事务所(普通合伙) 34143 专利代理师 余贵龙 (51)Int.Cl. C23C 14/30 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种真空镀膜机的蒸发装置 (57)摘要 本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是 一种真空镀膜机的蒸发装置，包括基板，料盘组 件，设置于基板上方，所述料盘组件包括壳体、蒸 发盘和坩埚，蒸发盘转动连接于蒸发盘内部，多 组坩埚均匀设置在蒸发盘内 ；电子枪结构，设置 于基板侧壁，通电时形成电子击打通道，发出电 子束轰击坩埚内的原料。本发明设置有驱动组 件、龙门组件和闸门，在连续镀膜蒸发盘转动时， 闸门能够有效隔绝电子击打通道，保证蒸发盘不 受损伤，而随着坩埚逐渐接近电子枪结构，驱动 组件驱动龙门组件将闸门提升起，闸门被抬起， 电子击打通道畅通，电子束被释放对坩埚内的材 A 料进行击打，避免了电子束对蒸发盘造成损伤， 4 同时无需反复的对电子束进行通电和断电操作。 7 1 8 8 2 6 1 1