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发明

通过各向异性铜电镀改善光刻胶分辨能力

2023-05-15 11:21:59 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202210014611.6
  • 公开（公告）日：2025-06-24
  • 公开（公告）号：CN114717615A
  • 申请人：杜邦电子材料国际有限责任公司
摘要：基材的特征是通过一种方法电镀的铜，所述方法包括用铜电镀组合物铜电镀选择性沉积的籽晶层或光刻胶限定特征的籽晶层，所述铜电镀组合物含有能够各向异性镀覆的选择性抑制剂化合物和选择性整平剂化合物。任选地，可以在铜电镀之前用含硫促进剂的水溶液处理所述籽晶层。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717615 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210014611.6 (51)Int.Cl. C25D 3/38 (2006.01) (22)申请日 2022.01.06 C25D 21/14 (2006.01) (30)优先权数据 C25D 21/12 (2006.01) 63/134348 2021.01.06 US (71)申请人 罗门哈斯电子材料有限责任公司 地址 美国马萨诸塞州 (72)发明人 A ·M ·里夫希茨阿莱比奥　 A ·杰林斯基　S ·汉莫迪　 J ·F ·拉霍夫斯基　 M ·K ·加拉格尔　C ·威廉姆森　 J ·D ·普朗格　 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 专利代理师 陈哲锋　乐洪咏 权利要求书2页 说明书23页 附图3页 (54)发明名称 通过各向异性铜电镀改善光刻胶分辨能力 (57)摘要 基材的特征是通过一种方法电镀的铜，所述 方法

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