一种基于玻璃微探针的平面微纳沉积控制方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116397287 A (43)申请公布日 2023.07.07 (21)申请号 202211669023.2 (22)申请日 2022.12.23 (71)申请人 南通大学 地址 226100 江苏省南通市啬园路9号 申请人 南通天承光电科技有限公司 (72)发明人 徐海黎　杨雅雯　陈妍　童义竣　 沈标　邢强　 (74)专利代理机构 北京深川专利代理事务所 (普通合伙) 16058 专利代理师 李焕焕 (51)Int.Cl. C25D 1/00 (2006.01) B33Y 10/00 (2015.01) B33Y 50/02 (2015.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种基于玻璃微探针的平面微纳沉积控制 方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于玻璃微探针的平面 微纳沉积控制方法，包括 ：获取沉积平面的基点 坐标；获取待沉积模型的二维沉积路径并离散； 获取沉积平面的平面方程，将二维沉积路径代入 平面方程得到三维沉积路径；将探针移动至第一 个沉积点进行沉积；驱动Z轴压电陶瓷将探针移 动至下一个沉积点的Z轴坐标向上跳跃间距d1 处；驱动X、Y轴压电陶瓷将探针移动至下一个沉 积点的上方；驱动Z轴压电陶瓷，将探针向下移动 至该沉积点的Z轴坐标向上跳跃间距d 处进行沉 2 积；依次对其余的沉积点