一种均匀喷覆的镀膜装置2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117399207 A (43)申请公布日 2024.01.16 (21)申请号 202311395086.8 (22)申请日 2023.10.26 (71)申请人 江苏盟星智能科技有限公司 地址 226300 江苏省南通市南通高新技术 产业开发区杏园路北 (72)发明人 梅力　胡朗　胡冬云　 (74)专利代理机构 南通国鑫智汇知识产权代理 事务所(普通合伙) 32606 专利代理师 章雯 (51)Int.Cl. B05B 13/02 (2006.01) B05B 12/12 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图11页 (54)发明名称 一种均匀喷覆的镀膜装置 (57)摘要 本发明公开了一种均匀喷覆的镀膜装置，涉 及技半导体镀膜术领域，包括工作台，工作台顶 部设置有镀膜机，镀膜机底部设置有多个喷头， 工作台顶部设置有控制组件，螺旋板开口一端设 置有承载组件，本发明通过螺旋板和多个喷头的 设置，螺旋板表面开设有贯穿自身的运动窗口， 其中运动窗口包括初始段、顺滑段和多个触发 段，通过多个不同的窗口设计，实现对半导体板 的固定和松脱，具有自动化处理能力，减少人工 操作需求，实现对半导体板的连续喷覆镀膜，使 得工作过程高效快速，利用喷头和螺旋板的特殊 设计，可以对半导体板进行从外环至内层的层层 A 喷覆，确保镀膜均匀，并且不会遗漏，对每个半导 7 体板的精确定位和处理，确保每次喷覆镀膜的准 0 2