一种激光直写系统及其扫描方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114779584 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210277329.7 (22)申请日 2022.03.21 (66)本国优先权数据 202210111095.9 2022.01.29 CN (71)申请人 源卓微电子技术（上海）有限公司 地址 200436 上海市静安区江场三路238号 1601J室 (72)发明人 胡传武　张书荣　胥涛棚　张雷　 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 (54)发明名称 一种激光直写系统及其扫描方法 (57)摘要 一种激光直写系统及其扫描方法，所述激光 直写系统包括图形发生器和控制系统，所述控制 系统包括模式获取单元，通过所述模式获取单元 获取不同的模式参数，根据不同的模式参数对矢 量图形进行栅格化操作获得栅格化图像数据，并 依据不同的模式参数，选择是否对栅格化图像数 据进行数据扩展，对于需要进行栅格化图像数据 扩展的模式，先进行栅格化扩展再进行栅格化数 据的转换存储，对于无需进行栅格化图像数据扩 展的模式，直接进行栅格化数据的转换存储，基 于转换存储的栅格化数据进行帧化处理，能够适 应多种模式参数的工件的需求。 A 4 8 5 9 7 7 4 1 1 N C CN 114779584 A 权　利　要　求　书 1/