一种用于PECVD设备的气体匀热装置2025

专利内容

本实用新型涉及PECVD设备技术领域，具体涉及一种用于PECVD设备的气体匀热装置，包括加热组件和气体引入组件，还包括气体匀流板和喷气嘴，所述加热组件为铠装加热器组件，气体匀流板安装在铠装加热器组件上且相互连通，气体引入组件安装在加热组件的加热板上，气体引入组件通过气体匀流板、加热组件与喷气嘴连通，喷气嘴安装在加热组件的加热板下部。本实用新型将加热器与气体匀流结构融合为一个模块，使其同时具备了加热和气体匀流功能，气体通过加热器上的导流结构均匀的从若干个喷淋口出来，且出来的气体已经被加热到一定的温度；而且提高了腔室内部空间利用率，一定程度上了简化了安装维护的工作量。C23C16/448(2006.01);C23C16/50(2006.01)