仿郎之万振子的压电MEMS超声换能器及其制备方法2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116809363 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202211022991.4 (22)申请日 2022.08.25 (71)申请人 上海交通大学 地址 200240 上海市闵行区东川路800号 (72)发明人 刘景全　阮涛　王淇　徐庆达　 (74)专利代理机构 上海恒慧知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 31317 专利代理师 徐红银　禹雪平 (51)Int.Cl. B06B 1/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 仿郎之万振子的压电MEMS超声换能器及其 制备方法 (57)摘要 本发明提供一种仿郎之万振子的压电MEMS 超声换能器及其制备方法，包括由下至上依次设 置的第一硅层、第一电极层、压电层、第二电极层 和第二硅层；其中 ：第一硅层上设有多个阵列单 元，阵列单元之间通过沟槽隔开，沟槽贯穿压电 层和第二电极层，第二电极层通过沟槽被划分为 多个第二电极层单元；第二硅层包括多个呈台阶 状的凸起结构，凸起结构分别位于第二电极层单 元上；凸起结构包括同轴设置的上层第二硅层和 下层第二硅层，上层第二硅层远离第二电极层单 元；上层第二硅层的面积小于下层第二硅层的面 A 积。本发明实现了仿郎之万振子的d 振动模态， 33 3 本发明的压电MEMS超声换能器可以用于心内血 6 3 9 管成像、指纹识别等小尺寸高精度