用于确定测量选配方案的方法和相关联的设备
- 申请专利号:CN202080088939.1
- 公开(公告)日:2025-06-10
- 公开(公告)号:CN114902140A
- 申请人:ASML荷兰有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902140 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080088939.1 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.12.17 专利代理师 王益 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 19218690.6 2019.12.20 EP G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.06.20 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/086618 2020.12.17 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/122879 EN 2021.06.24 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 W ·T ·特尔 A ·J ·范莱斯特 权利要求书2页 说明书11页 附图5页 (54)发明名称 用于确定测量选配方案的方法和相关联的 设备 (57)摘要 披露了一种用于确定测量选配方
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