1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 物理
PCT发明

用于确定测量选配方案的方法和相关联的设备

2023-05-19 11:17:33 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080088939.1
  • 公开（公告）日：2025-06-10
  • 公开（公告）号：CN114902140A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：披露了一种用于确定测量选配方案的方法，所述测量选配方案描述用于对来自经受蚀刻引发的参数误差影响的衬底的所关注的参数进行测量的测量设定，所述蚀刻引发的参数误差以取决于选配方案的方式影响对所述所关注的参数的测量。所述方法包括：获得与对至少一个调试衬底的测量有关的所关注的参数的调试数据，所述至少一个调试衬底上的所述所关注的参数具有多种第一引发调整值；以及获得与对至少一个调试衬底的测量有关的蚀刻引发的参数的调试数据，所述至少一个调试衬底上的所述蚀刻引发的参数具有多种第二引发调整值。确定所述选配方案以最小化所述蚀刻引发的参数对于对所述所关注的参数的测量的影响。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902140 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080088939.1 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.12.17 专利代理师 王益 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 19218690.6 2019.12.20 EP G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.06.20 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/086618 2020.12.17 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/122879 EN 2021.06.24 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 W ·T ·特尔　A ·J ·范莱斯特　 权利要求书2页 说明书11页 附图5页 (54)发明名称 用于确定测量选配方案的方法和相关联的 设备 (57)摘要 披露了一种用于确定测量选配方

最新专利

相关专利