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发明

改善氟化镧膜层表面裂纹的方法2025

2023-11-16 07:27:15 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202311068932.5
  • 公开（公告）日：2025-07-08
  • 公开（公告）号：CN117026170A
  • 申请人：安徽光智科技有限公司
摘要：一种改善氟化镧膜层表面裂纹的方法包括步骤：S1，将氟化镧料掺入氧化钇料形成混料，氧化钇料占0.2％‑1.0％；S2，将混料放入蒸发舟内，盖上盖子，盖子具有通孔；S3，将工件盘加热至150‑300℃并维持恒定，S4，将镀膜室抽真空并维持在3.0×10‑3Pa以下；S5，电阻加热将蒸发舟内的混料预热，预热采用分步间隔加热，分步间隔加热每步加热后保温，预热的最终温度设定为在所维持的真空下的氟化镧的蒸发温度的80±5％；S6，步骤S5的预热结束后，镀膜室通入氩气并维持镀膜室的真空度在1.0×10‑2Pa，继续电阻加热蒸发镀膜，采用分段间隔镀膜，每段镀膜200‑300nm厚度后停顿，累积镀膜厚度达到1000nm以上为止；S7，在步骤S6完成后20‑40min后，阶梯降温；S8，取出工件盘连同工件盘上的镀膜。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117026170 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311068932.5 (22)申请日 2023.08.23 (71)申请人 安徽光智科技有限公司 地址 239004 安徽省滁州市琅琊经济开发 区南京路100号 (72)发明人 戴辉　王星星　刘克武　尹士平　 王俊　 (74)专利代理机构 北京五洲洋和知识产权代理 事务所(普通合伙) 11387 专利代理师 张向琨 (51)Int.Cl. C23C 14/26 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 改善氟化镧膜层表面裂纹的方法 (57)摘要 一种改善氟化镧膜层表面裂纹的方法包括 步骤：S1，将氟化镧料掺入氧化钇料形成混料，氧 化钇料占0.2％‑1.0％；S2，将混料放入蒸发舟 内，盖上盖子，盖子具有通孔；S3，将工件盘加热 至150‑300℃并维持恒定，S4，将镀膜室抽真空并 ‑3 维持在3.0×10 Pa以下 ；S5，电阻加热将蒸发舟 内的混料预热，预热采用分步间隔加热，分步间 隔加热每步加热后保温，预热的最终温度设定为 在所维持的真空下的氟化镧的蒸发温度的80± 5％；S6，步骤S5的预热结束后，镀膜室通入氩气

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