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发明

一种加热盘调节机构2025

2024-03-05 07:18:34 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202311678049.8
  • 公开（公告）日：2025-05-09
  • 公开（公告）号：CN117637550A
  • 申请人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本发明涉及半导体加工制造技术领域，更具体的说，涉及一种加热盘调节机构。本发明提供的加热盘调节机构，包括凸轮机构、球形铰链、加热盘与加热盘座：所述凸轮机构，与加热盘座紧密接触；所述加热盘，与加热盘座刚性连接；所述加热盘座，底部与球形铰链相连接；其中，所述凸轮机构，围绕加热盘轴线做回转运动，带动所述加热盘沿球形铰链在多个方向上进行相应运动，实现加热盘的对心及调平调整。本发明提出的加热盘调节机构，通过凸轮机构同时实现加热盘对心和调平，不仅将有助于提高产品质量，也将有助于提升整体的生产效率。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117637550 A (43)申请公布日 2024.03.01 (21)申请号 202311678049.8 H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) (22)申请日 2023.12.07 (71)申请人 拓荆科技(上海)有限公司 地址 201306 上海市浦东新区中国（上海） 自由贸易试验区临港新片区鸿音路 1211号10幢304室 (72)发明人 杨辰烨　 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 专利代理师 陶玉龙 (51)Int.Cl. H01L 21/67 (2006.01) C23C 16/46 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图11页 (54)发明名称 一种加热盘调节机构 (57)摘要 本发明涉及半导体加工制造技术领域，更具 体的说，涉及一种加热盘调节机构。本发明提供 的加热盘调节机构，包括凸轮机构、球形铰链、加 热盘与加热盘座：所述凸轮机构，与加热盘座紧 密接触；所述加热盘，与加热盘座刚性连接；所述 加热盘座，底部与球形铰链相连接；其中，所述凸 轮机构，围绕

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