PCT发明

真空夹持装置

2023-07-06 10:54:53 发布于四川 3
  • 申请专利号:CN202080035033.3
  • 公开(公告)日:2025-05-20
  • 公开(公告)号:CN113826190A
  • 申请人:韦崔斯股份有限公司
摘要:一种真空夹持装置,其用于夹紧工件,特别地用于夹紧诸如晶圆等平面基材,包括具有吸附表面的底板,其中在底板的吸附表面中设计有多个吸附开口,其中底板可通过至少一个抽吸管道,与至少一个负压装置相连,其特征在于,吸附开口被布置在底板的吸附表面的边沿区域中。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113826190 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202080035033.3 (74)专利代理机构 成都超凡明远知识产权代理 有限公司 51258 (22)申请日 2020.05.05 代理人 李楠 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102019112318.6 2019.05.10 DE H01L 21/683 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.11.10 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/062460 2020.05.05 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/229233 DE 2020.11.19 (71)申请人 韦崔斯股份有限公司 地址 捷克霍沃科维斯市 (72)发明人 罗曼 ·弗朗茨 ·维泽尔  权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 真空夹持装置 (57)摘要 一种真空夹持装置,其用于夹紧工件,特别 地用

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