弹性波器件2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117767904 A (43)申请公布日 2024.03.26 (21)申请号 202311582874.8 (22)申请日 2023.11.24 (71)申请人 上海馨欧集成微电有限公司 地址 201800 上海市嘉定区菊园新区环城 路2222号6幢101室J (72)发明人 张丽萍　吴进波　 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 余明伟 (51)Int.Cl. H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/25 (2006.01) H03H 9/64 (2006.01) 权利要求书2页 说明书16页 附图23页 (54)发明名称 弹性波器件 (57)摘要 本发明提供一种弹性波器件，设置具有叉指 沟槽和/或窗口沟槽的图案化的功能调控层，能 够有效调整弹性波的速度轮廓曲线和能量积分， 从而减弱或抑制横向杂散模式的激发，有利于谐 振器和/或滤波器实现平坦的通带，降低插入损 耗，提高矩形度和边带陡峭度，简化叉指电极结 构，同时高声速、高杨氏模量的功能调控层有助 于提升器件结构的温度稳定性，此外功能调控层 还具有保护金属叉指电极、表面钝化的优势，能 够提升弹性波器件的散热性能和寿命，从而提高 功率容量。 A 4 0 9 7 6 7 7 1 1 N C CN 117767904 A 权　利　要　求　书