一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度精密微定位平台
- 申请专利号:CN202110332625.8
- 公开(公告)日:2025-05-27
- 公开(公告)号:CN112967749A
- 申请人:沈阳工业大学
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112967749 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110332625.8 (22)申请日 2021.03.29 (71)申请人 沈阳工业大学 地址 110870 辽宁省沈阳市铁西区经济技 术开发区沈辽西路111号 (72)发明人 孙凤 郝岩松 李强 徐方超 金俊杰 张晓友 张明 佟玲 (74)专利代理机构 沈阳智龙专利事务所(普通 合伙) 21115 代理人 宋铁军 (51)Int.Cl. G12B 5/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种并联复桥组合杠杆式大行程三自由度 精密微定位平台 (57)摘要 本发明公开了一种并联复桥组合杠杆式大 行程三自由度精密微定位平台,包括定平台,所 述定平台上周向设置有三个复桥组合杠杆,所述 复桥组合杠杆上通过双轴柔性铰链安装有动平 台,所述复桥组合杠杆设有复桥位移放大机构, 且复桥位移放大机构内设有压电陶瓷驱动器。平 台整体采用三个完全一样的复桥组合杠杆式位 移放大机构呈等边三角形并联而成,平台总体尺 寸较小并且具有更大的承载力。复桥组合杠杆式 位移放大机构,相比于传统的位移放大机构具有 更大的刚度和放大比。采用新型双轴柔性铰链代 A 替传统球铰链,使位移放大机构与球铰链可以一 9 体化加工,减少了装配间隙误差。具有大行程、运 4 7 7 动分辨率高、无需润滑
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