一种动态聚焦扫描振镜系统的优化方法及光路结构

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114609778 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210384792.1 (22)申请日 2022.04.13 (71)申请人 北京工业大学 地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号 (72)发明人 肖荣诗　苏坤　黄婷　 (74)专利代理机构 北京睿派知识产权代理事务 所(普通合伙) 11597 专利代理师 刘锋 (51)Int.Cl. G02B 27/00 (2006.01) G02B 26/10 (2006.01) G02B 27/09 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种动态聚焦扫描振镜系统的优化方法及 光路结构 (57)摘要 本发明提供了一种动态聚焦扫描振镜系统 的优化方法及光路结构。所述优化方法对动态聚 焦扫描振镜系统进行了一体式考虑，模拟动态聚 焦镜和两轴振镜的不同工作状态，评价在不同工 作状态下系统聚焦光斑的质量，并从整体角度对 系统进行优化。所述光路结构包含第一透镜、第 二透镜、X轴振镜、Y轴振镜、第三透镜、第四透镜、 第五透镜和第六透镜；第一透镜为双凹型负透 镜，第二透镜为双凸型正透镜，X轴振镜和Y轴振 镜为平面反射镜，第三透镜为双凹型负透镜，第 四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为弯月型正透 A 镜，第六透镜为双凸型正透镜，本发明能够提升 8 动态聚焦扫描振镜系统在工作区域内聚焦光斑 7 7 9 的圆度，提升了聚焦