一种基于LCOS芯片的曝光装置及方法

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112947011 A (43)申请公布日 2021.06.11 (21)申请号 202110350277.7 (22)申请日 2021.03.31 (71)申请人 深圳光韵达光电科技股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市南山区高新区 北区朗山路13号清华紫光科技园C座1 层 (72)发明人 马建立　甘新昌　 (74)专利代理机构 深圳新创友知识产权代理有 限公司 44223 代理人 王震宇 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G02B 27/28 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 一种基于LCOS芯片的曝光装置及方法 (57)摘要 一种基于LCOS芯片的曝光装置及方法，该装 置包括光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二 LCOS芯片以及成像透镜，第一LCOS芯片中的第一 部分像素点将P偏振光中的一部分光调制成S偏 振光后反射回偏振分光棱镜，第二LCOS芯片中的 第一部分像素点将S偏振光中的一部分光调制成 P偏振光后反射回偏振分光棱镜，第一LCOS芯片 反射回来的S偏振光和第二LCOS芯片反射回来的 P偏振光分别经过偏振分光棱镜分光界面处，重 合后形成偏振合束，同轴传播进入成像透镜。由 此，本发明的曝光装置使得光源经过偏振分光棱 镜后得到的P偏振方向和S偏振方向的光均能够 A 得到有效的利用，提高了光源光功率