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发明

一种石英衬底铌酸锂模斑转换器2025

2023-10-22 07:29:13 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202310784550.6
  • 公开（公告）日：2025-07-25
  • 公开（公告）号：CN116908962A
  • 申请人：中国电子科技集团公司第五十四研究所
摘要：本发明公开了一种石英衬底铌酸锂模斑转换器，涉及光通信和微波光子领域。本发明包括石英衬底层、二氧化硅包层、铌酸锂波导层、氧化物夹层和氧化物上包层，所述铌酸锂波导层为三层阶梯型结构，且三层铌酸锂波导层的光纤耦合端横截面均为等腰梯形，氧化物夹层和氧化物上包层的光纤耦合端横截面均下部设有缺口，上部设有等腰梯形突出的形状，且氧化物夹层和氧化物上包层的等腰梯形突出、铌酸锂波导层的横截面等腰梯形的斜边角度均不超过70°。本发明可实现光信号在集成铌酸锂光子芯片与光纤间进行耦合时的高耦合和低传输损耗，且降低了工艺加工难度，具有较高的实用性。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116908962 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310784550.6 G02B 6/12 (2006.01) G02B 6/26 (2006.01) (22)申请日 2023.06.29 (71)申请人 中国电子科技集团公司第五十四研 究所 地址 050081 河北省石家庄市中山西路589 号中国电子科技集团公司第五十四研 究所光通信研发中心 (72)发明人 刘博缘　马向　李少波　于文琦　 齐合飞　丁跃迪　何剑涛　杨瑾　 杨万里　 (74)专利代理机构 河北东尚律师事务所 13124 专利代理师 王文庆 (51)Int.Cl. G02B 6/14 (2006.01) G02B 6/122 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种石英衬底铌酸锂模斑转换器 (57)摘要 本发明公开了一种石英衬底铌酸锂模斑转 换器，涉及光通信和微波光子领域。本发明包括 石英衬底层、二氧化硅包层、铌酸锂波导层、氧化 物夹层和氧化物上包层，所述铌酸锂波导层为三 层阶梯型结构，且三层铌酸锂波导层的光纤耦合 端横截面均为等腰梯形，氧化物夹层和氧化物上 包层的光纤耦合端横截面均下部设有缺口

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