一种核电池结构及其制备方法
- 申请专利号:CN202111263270.8
- 公开(公告)日:2025-02-28
- 公开(公告)号:CN114023482A
- 申请人:无锡华普微电子有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114023482 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111263270.8 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人 无锡华普微电子有限公司 地址 214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大 道202号 (72)发明人 郭凤丽 张玲玲 (74)专利代理机构 无锡市大为专利商标事务所 (普通合伙) 32104 代理人 殷红梅 陈丽丽 (51)Int.Cl. G21H 1/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种核电池结构及其制备方法 (57)摘要 本发明涉及核电池技术领域,具体公开了一 种核电池结构,其中,包括:第一核电池芯片、第 二核电池芯片以及位于第一核电池芯片和第二 核电池芯片中间的放射性同位素源层,第一核电 池芯片和第二核电池芯片均包括第一导电类型 衬底、在第一导电类型衬底上依次设置的第一导 电类型外延层、第一掺杂浓度的第二导电类型外 延层、第二掺杂浓度的第二导电类型外延层、第 二导电类型欧姆接触层和金属键合层,放射性同 位素源层分别与第一核电池芯片的金属键合层 以及第二核电池芯片的金属键合层接触,第一导 电类型衬底背离放射性同位素源层的一面均设 A 置第一导电类型欧姆接触层。本发明还公开了一 2 种核电池的制备方法。本发明提供的核电池结构 8 4 3 能够提高能量转换效率。 2 0 4 1 1
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