机械臂以及晶圆搬运机器人
- 申请专利号:CN202211093845.0
- 公开(公告)日:2025-07-08
- 公开(公告)号:CN116423487A
- 申请人:广东长信精密设备有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116423487 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202211093845.0 (22)申请日 2022.09.08 (71)申请人 广东长信精密设备有限公司 地址 511517 广东省清远市百嘉工业园27- 9号设备间 (72)发明人 陈子秋 吴伟平 邹展 (74)专利代理机构 北京五洲洋和知识产权代理 事务所(普通合伙) 11387 专利代理师 张向琨 (51)Int.Cl. B25J 9/12 (2006.01) 权利要求书3页 说明书9页 附图6页 (54)发明名称 机械臂以及晶圆搬运机器人 (57)摘要 提供一种机械臂以及晶圆搬运机器人。机械 臂包括肩部、第一伸缩臂、第二伸缩臂、手指安装 座、手指、肩关节轴、肘关节轴及腕关节轴;肩关 节轴设在肩部和第一伸缩臂之间,肘关节轴设在 第一伸缩臂和第二伸缩臂之间,腕关节轴设在第 二伸缩臂和手指安装座之间,手指固定于手指安 装座;肩部能驱动第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩 关节轴正向旋转;第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩 关节轴旋转能带动第二伸缩臂及腕关节轴围绕 肘关节轴反向旋转;第二伸缩臂及腕关节轴围绕 肘关节轴反向旋转能带动手指安装座及手指围 绕腕关节轴正向旋转 ;肩部驱动采用纯齿轮驱 A 动;肩关节轴和肘关节轴之间经齿轮连接 ;肘关 7 节轴和腕关节轴之间经齿轮连接。晶圆搬运机器 8 4 3 人包括机械臂。 2 4 6 1 1
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