发明

机械臂以及晶圆搬运机器人

2023-07-16 07:19:47 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202211093845.0
  • 公开(公告)日:2025-07-08
  • 公开(公告)号:CN116423487A
  • 申请人:广东长信精密设备有限公司
摘要:提供一种机械臂以及晶圆搬运机器人。机械臂包括肩部、第一伸缩臂、第二伸缩臂、手指安装座、手指、肩关节轴、肘关节轴及腕关节轴;肩关节轴设在肩部和第一伸缩臂之间,肘关节轴设在第一伸缩臂和第二伸缩臂之间,腕关节轴设在第二伸缩臂和手指安装座之间,手指固定于手指安装座;肩部能驱动第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩关节轴正向旋转;第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩关节轴旋转能带动第二伸缩臂及腕关节轴围绕肘关节轴反向旋转;第二伸缩臂及腕关节轴围绕肘关节轴反向旋转能带动手指安装座及手指围绕腕关节轴正向旋转;肩部驱动采用纯齿轮驱动;肩关节轴和肘关节轴之间经齿轮连接;肘关节轴和腕关节轴之间经齿轮连接。晶圆搬运机器人包括机械臂。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116423487 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202211093845.0 (22)申请日 2022.09.08 (71)申请人 广东长信精密设备有限公司 地址 511517 广东省清远市百嘉工业园27- 9号设备间 (72)发明人 陈子秋 吴伟平 邹展  (74)专利代理机构 北京五洲洋和知识产权代理 事务所(普通合伙) 11387 专利代理师 张向琨 (51)Int.Cl. B25J 9/12 (2006.01) 权利要求书3页 说明书9页 附图6页 (54)发明名称 机械臂以及晶圆搬运机器人 (57)摘要 提供一种机械臂以及晶圆搬运机器人。机械 臂包括肩部、第一伸缩臂、第二伸缩臂、手指安装 座、手指、肩关节轴、肘关节轴及腕关节轴;肩关 节轴设在肩部和第一伸缩臂之间,肘关节轴设在 第一伸缩臂和第二伸缩臂之间,腕关节轴设在第 二伸缩臂和手指安装座之间,手指固定于手指安 装座;肩部能驱动第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩 关节轴正向旋转;第一伸缩臂及肘关节轴围绕肩 关节轴旋转能带动第二伸缩臂及腕关节轴围绕 肘关节轴反向旋转;第二伸缩臂及腕关节轴围绕 肘关节轴反向旋转能带动手指安装座及手指围 绕腕关节轴正向旋转 ;肩部驱动采用纯齿轮驱 A 动;肩关节轴和肘关节轴之间经齿轮连接 ;肘关 7 节轴和腕关节轴之间经齿轮连接。晶圆搬运机器 8 4 3 人包括机械臂。 2 4 6 1 1

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