一种降低晶体生长炉装配高度的组件及使用方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113337897 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110546770.6 (22)申请日 2021.05.19 (71)申请人 深圳大学 地址 518000 广东省深圳市南山区南海大 道3688号 (72)发明人 武红磊　李文良　金雷　覃佐燕　 (74)专利代理机构 北京三聚阳光知识产权代理 有限公司 11250 代理人 徐律 (51)Int.Cl. C30B 35/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种降低晶体生长炉装配高度的组件及使 用方法 (57)摘要 本发明涉及半导体晶体生长技术领域，公开 了一种降低晶体生长炉装配高度的组件及使用 方法，其中组件包括承重板，其顶部适用于固定 晶体生长炉；活动支撑组件安装于承重板的底 部，并可驱动承重板进行升降动作；一组固定支 撑组件可在承重板和晶体生长炉到达设计高度 时，固定支撑于承重板的底部且分设于活动支撑 组件的两侧；活动支撑组件适于在晶体生长炉安 装到预设位置时，从承重板底部拆除。可以在较 低位置先进行承重板与晶体生长炉的安装固定， 之后再利用活动支撑件将晶体生长炉和承重板 A 提升到合适的高度，接着利用固定支撑组件进行 7 支撑固定，安装更加方便，提高了装配效率，无需 9 8 7 反复安装，可以避免造成晶体生长炉损坏。 3 3 3 1 1 N C CN 11