掩模组件及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582723 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210210772.2 (22)申请日 2022.03.04 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 申请人 重庆京东方显示技术有限公司 (72)发明人 王丹名　李聪　张帅　 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所 11313 专利代理师 王丹丹　包莉莉 (51)Int.Cl. H01L 21/32 (2006.01) C23C 16/04 (2006.01) C25D 11/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图4页 (54)发明名称 掩模组件及其制备方法 (57)摘要 本公开实施例提供一种掩模组件及其制备 方法，其中，该掩模组件包括掩模版，掩模版的周 缘设置有夹持槽；夹盖，夹盖的形状与夹持槽的 形状适配；掩模版位于夹持槽之外的表面以及夹 盖的表面均设置有氧化膜。本公开实施例的技术 方案可以避免夹持槽的表面与工艺气体发生反 应而生锈或腐蚀，从而避免污染工艺环境。 A 3 2 7 2 8 5 4 1 1 N C CN 114582723 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种掩模组件，其特征在于，包括： 掩模版，所述掩模版的周缘设