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PCT发明

使用四硼酸锶的用于频率转换的深紫外激光器2025

2024-02-15 07:29:39 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202280044207.1
  • 公开（公告）日：2025-04-22
  • 公开（公告）号：CN117546378A
  • 申请人：科磊股份有限公司
摘要：在激光器组合件200A、200B的最终倍频级230A、230B中使用包含协作地经配置以产生用于准相位匹配(QPM)的周期性结构的堆叠式四硼酸锶SrB4O7(SBO)晶体平板335‑1、335‑2、335‑3、335‑4的非线性晶体300，以产生具有在约180nm到200nm的范围内的波长的激光器输出光239A、239B。使用一或多个频率转换级220A、220B‑1、221B、222B对一或多个基本激光射束211A、211B进行频率加倍、降频转换及/或求和，以产生具有在约360nm到400nm的范围内的对应波长的中频光212A、214B，且接着最终频率转换级130利用所述非线性晶体300来使所述中频光212A、214B的频率加倍以在高功率下产生所期望激光器输出光239A、239B。还描述并入所述激光器组合件的方法、检验系统、光刻系统及切割系统。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117546378 A (43)申请公布日 2024.02.09 (21)申请号 202280044207.1 银英 ·肖-李　E ·洛基诺娃　 (22)申请日 2022.11.29 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限 责任公司 11287 (30)优先权数据 专利代理师 刘丽楠 63/288,560 2021.12.11 US 17/991,198 2022.11.21 US (51)Int.Cl . H01S 3/10 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.12.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2022/051300 2022.11.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2023/107298 EN 2023.06.15 (71)申请人 科磊股份有限公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 勇-霍·亚历克斯·庄　K ·毛瑟　 张百钢　刘学峰　J ·费尔登　 权利要求书5页 说明书17页 附图8页 (54)发明名称 使用四硼酸锶的用

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