一种用于陶瓷件的扩膜机

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116153603 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202211030683.6 (22)申请日 2022.08.26 (71)申请人 苏州新米特电子科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区胜浦 九江路2号1号厂房二楼 (72)发明人 李志卫　 (51)Int.Cl. H01C 17/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 一种用于陶瓷件的扩膜机 (57)摘要 本申请公开了一种用于陶瓷件的扩膜机，涉 及半导体陶瓷件生产设备领域，其包括机体、工 作台、上基座、下基座以及用于控制上基座和下 基座相对运动的电控模块，所述下基座包括相对 工作平台升降的中心基座和多个基座环，多个所 述基座环同轴并依次绕设于中心基座外侧，所述 下基座的最大直径不大于上基座的直径；所述机 体上还升降设置有用于在下基座外侧压紧蓝膜 的压圈，所述压圈、上基座和中心基座均呈同轴 布设，所述压圈内侧设置有用于可拆卸固定不同 规格的切割铁环的固定装置。工作人员能够根据 待扩膜的陶瓷件的数量/面积/规格相应地调整 A 下基座的整体面积 ，提高单台扩膜机对不同数 3 量/面积/规格的陶瓷件的适应性，均匀扩膜并提 0 6 3 高扩膜效率。 5 1 6 1 1 N C CN 116153603 A 权　利　要　求　书 1/2页