一种沉积炉的进气组件及沉积炉

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116219410 A (43)申请公布日 2023.06.06 (21)申请号 202310351146.X (22)申请日 2023.04.04 (71)申请人 内蒙古鼎泰万邦新材料有限公司 地址 010000 内蒙古自治区呼和浩特市土 默特左旗金川开发区综合保税区 (72)发明人 周俭　 (74)专利代理机构 北京元中知识产权代理有限 责任公司 11223 专利代理师 汪诚芝 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图6页 (54)发明名称 一种沉积炉的进气组件及沉积炉 (57)摘要 本发明公开了一种沉积炉的进气组件及沉 积炉，进气组件包括具有进气口和出气口的进气 管，还包括可活动地设置在进气管内的增能块 , 增能块的顶端朝向进气口、与顶端相对的底端朝 向出气口设置，增能块垂直于其延伸方向的横截 面自顶端到底端逐渐变大。进气组件通过在管道 内设置增能块能够改变和控制气体在管道内的 流动状态，使增能块的横截面沿着进气口到出气 口的方向不断变大，能够控制进气管中供气体通 过的有效截面积从进气口到出气口不断变小，从 而促使气体在向出气口流动的过程中不断受到 挤压 ，大大提高气体从出气口喷出的压力和速 A 度，从而使进气组件喷出气体具有较大的动能， 0 避免气体中的碳原子出现沉积的现象。 1 4 9 1 2 6 1 1 N C CN 11621