一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其滚花方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112877665 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 202110282766.3 (22)申请日 2021.03.16 (71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余姚市经济开 发区名邦科技工业园区安山路 (72)发明人 姚力军　边逸军　潘杰　王学泽　 邵科科　 (74)专利代理机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 11659 代理人 王岩 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) B23P 9/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图1页 (54)发明名称 一种具有分段式花纹结构的靶材组件及其 滚花方法 (57)摘要 本发明提供一种具有分段式花纹结构的靶 材组件及其滚花方法，所述靶材组件包括层叠设 置的靶材与背板；所述靶材的端面具有第一分段 式花纹结构；所述靶材的端面与侧面的连接处R 角具有第二分段式花纹结构；所述第一分段式花 纹结构与第二分段式花纹结构分别独立地为至 少2段式花纹结构。所述滚花方法包括以下步骤： (1)对靶材的端面进行第一分段式滚花；(2)对靶 材的端面与侧面的连接处R角进行第二分段式滚 花；(3)对靶材的滚花区域进行抛光处理。其中， 步骤(1)与(2)不分先后顺序。本发明有效地防止 A 了靶材在溅射过程中反溅射物的脱落，保护了晶 5 圆免受损伤，