一种MEMS加速计器件结构及其制备方法2025
- 申请专利号:CN202311474919.X
- 公开(公告)日:2025-07-18
- 公开(公告)号:CN117723779A
- 申请人:湖北九峰山实验室
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117723779 A (43)申请公布日 2024.03.19 (21)申请号 202311474919.X (22)申请日 2023.11.06 (71)申请人 湖北九峰山实验室 地址 430000 湖北省武汉市东湖开发区关 东科技工业园华光大道18号19层 (72)发明人 张汇文 徐洋 朱莉莉 (74)专利代理机构 武汉蓝宝石专利代理事务所 (特殊普通合伙) 42242 专利代理师 张文静 (51)Int.Cl. G01P 15/08 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种MEMS加速计器件结构及其制备方法 (57)摘要 本发明提供一种MEMS加速计器件结构及其 制备方法,属于MEMS加速计技术领域。该MEMS加 速计器件结构包括信号互联晶圆、器件层和盖 板;器件层与盖板之间形成有至少一个第一空 腔,信号互联晶圆与器件层之间形成有至少一个 第二空腔;盖板上设有至少一个第一通孔,或/和 信号互联晶圆上设有至少一个第二通孔;该器件 结构还包括用于密封第一通孔的第一封孔层或/ 和用于密封第二通孔的第二封孔层。该器件结构 的制备方法中将镀疏水材料的步骤移到部件结 合步骤之后,既不影响器件密封性能,又避免疏 水材料受温度的影响,并保
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