发明

一种MEMS加速计器件结构及其制备方法2025

2024-03-25 07:16:51 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202311474919.X
  • 公开(公告)日:2025-07-18
  • 公开(公告)号:CN117723779A
  • 申请人:湖北九峰山实验室
摘要:本发明提供一种MEMS加速计器件结构及其制备方法,属于MEMS加速计技术领域。该MEMS加速计器件结构包括信号互联晶圆、器件层和盖板;器件层与盖板之间形成有至少一个第一空腔,信号互联晶圆与器件层之间形成有至少一个第二空腔;盖板上设有至少一个第一通孔,或/和信号互联晶圆上设有至少一个第二通孔;该器件结构还包括用于密封第一通孔的第一封孔层或/和用于密封第二通孔的第二封孔层。该器件结构的制备方法中将镀疏水材料的步骤移到部件结合步骤之后,既不影响器件密封性能,又避免疏水材料受温度的影响,并保证器件结构内部所有的表面均能镀疏水材料,达到更好的防粘合效果。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117723779 A (43)申请公布日 2024.03.19 (21)申请号 202311474919.X (22)申请日 2023.11.06 (71)申请人 湖北九峰山实验室 地址 430000 湖北省武汉市东湖开发区关 东科技工业园华光大道18号19层 (72)发明人 张汇文 徐洋 朱莉莉  (74)专利代理机构 武汉蓝宝石专利代理事务所 (特殊普通合伙) 42242 专利代理师 张文静 (51)Int.Cl. G01P 15/08 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种MEMS加速计器件结构及其制备方法 (57)摘要 本发明提供一种MEMS加速计器件结构及其 制备方法,属于MEMS加速计技术领域。该MEMS加 速计器件结构包括信号互联晶圆、器件层和盖 板;器件层与盖板之间形成有至少一个第一空 腔,信号互联晶圆与器件层之间形成有至少一个 第二空腔;盖板上设有至少一个第一通孔,或/和 信号互联晶圆上设有至少一个第二通孔;该器件 结构还包括用于密封第一通孔的第一封孔层或/ 和用于密封第二通孔的第二封孔层。该器件结构 的制备方法中将镀疏水材料的步骤移到部件结 合步骤之后,既不影响器件密封性能,又避免疏 水材料受温度的影响,并保

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