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PCT发明

感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法

2023-06-18 07:25:59 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080089460.X
  • 公开（公告）日：2025-07-01
  • 公开（公告）号：CN114902138A
  • 申请人：富士胶片株式会社
摘要：本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性树脂膜、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的图案形成方法及电子器件的制造方法，所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含：含有具有特定的环结构的重复单元(a1)的树脂(A)、通过光化射线或放射线的照射产生酸的化合物(B)通过光化射线或放射线的照射分解而酸捕获性降低的特定的化合物(C)。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902138 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080089460.X (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.12.07 专利代理师 薛海蛟 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-239614 2019.12.27 JP G03F 7/039 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C08F 20/38 (2006.01) 2022.06.22 G03F 7/004 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G03F 7/038 (2006.01) PCT/JP2020/045551 2020.12.07 G03F 7/20 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/131655 JA 2021.07.01 (71)申请

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