一种光刻胶组合物及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112764313 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110089814.7 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人 宁波南大光电材料有限公司 地址 315800 浙江省宁波市北仑区柴桥街 道青山路21号 (72)发明人 齐国强　顾大公　岳力挽　李珊珊　 马潇　毛智彪　许从应　 (74)专利代理机构 深圳盛德大业知识产权代理 事务所(普通合伙) 44333 代理人 左光明 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 一种光刻胶组合物及其制备方法 (57)摘要 本发明实施例提供了一种光刻胶组合物及 其制备方法，该光刻胶组合物包括以下原料： 0.1‑10重量组分的光致酸产生剂、10‑30重量组 分的成膜树脂、0.1‑5重量组分的酸扩散抑制剂 以及55‑89.8重量组分的有机溶剂A；其中所述光 致酸产生剂为含双酯结构的光致酸产生剂，所述 酸扩散抑制剂为含有羟基功能单元和碱性功能 单元的酸扩散抑制剂。本发明实施例提供的光刻 胶组合物在采用含双酯结构的光致酸产生剂的 条件下，通过添加含有羟基功能单元和碱性功能 单元的酸扩散抑制剂，进一步改善了光刻胶的线 宽粗糙度，提高了光刻胶的分辨率，增强了光刻 A 胶的成膜能力。 3 1 3 4 6 7 2 1 1 N