大偏转角的光偏转器件2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116931255 A (43)申请公布日 2023.10.24 (21)申请号 202210351648.8 (22)申请日 2022.04.02 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 武震宇　刘艺晨　王栎皓　汪洋　 张玉遥　 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 贺妮妮 (51)Int.Cl. G02B 26/10 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 大偏转角的光偏转器件 (57)摘要 本发明提供一种大偏转角的光偏转器件，由 中心向外依次包括：反射平面，两个第一柔性连 接装置，两个第一致动传感装置，解耦平面，四个 第二柔性连接装置及两个第二致动传感装置；每 个第一柔性连接装置的一端与反射平面的边缘 连接；两个第一致动传感装置的一端分别与两个 第一柔性连接装置的另一端连接；每个第一致动 传感装置均包括第一及第二致动传感器；解耦平 面的一端与两个第一致动传感装置的另一端连 接；每个第二柔性连接装置的一端与解耦平面的 另一端边缘连接；每个第二致动传感装置分别与 两个第二柔性连接装置的另一端连接 ；反射平 A 面、第一致动传感装置、解耦平面及第二致动传 5 感装置均相互平行。该光偏转器件可有效提高反 5 2 1 射平面的偏转角。 3