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发明

一种电控变焦的片上集成超透镜

2023-08-06 07:26:23 发布于四川 4
  • 申请专利号：CN202310622053.6
  • 公开（公告）日：2025-05-16
  • 公开（公告）号：CN116540377A
  • 申请人：燕山大学
摘要：本发明提供了一种电控变焦的片上集成超透镜，属于光电子器件与集成技术领域，包括基于槽型波导阵列的超透镜结构和基于金属电阻的电控加热器结构；其中，所述基于槽型波导阵列的超透镜结构用于实现片上光束聚焦，所述基于金属电阻线的电控加热器结构通过设计电阻线的几何形状来精准控制波导的温度，从而实现波导局部有效折射率的调控，最终通过对加热器施加不同电功率来实现聚焦光束的前后移动。本发明仅需两个加热器即可实现片上聚焦光束的变焦功能，显著减少电极数量，电控方案简单，且该方案与标准硅光子工艺平台完全兼容，有望集成应用于波束整形、片上交换开关网络和可重构光子集成系统。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116540377 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202310622053.6 H05B 3/00 (2006.01) G02F 1/01 (2006.01) (22)申请日 2023.05.30 G02B 27/09 (2006.01) (71)申请人 燕山大学 地址 066004 河北省秦皇岛市海港区河北 大街438号 (72)发明人 刘英杰　万雨　丁凤瑶　 (74)专利代理机构 石家庄众志华清知识产权事 务所(特殊普通合伙) 13123 专利代理师 张建 (51)Int.Cl. G02B 7/02 (2021.01) G02B 3/00 (2006.01) G02B 7/00 (2021.01) G02B 7/04 (2021.01) G02B 27/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种电控变焦的片上集成超透镜 (57)摘要 本发明提供了一种电控变焦的片上集成超 透镜，属于光电子器件与集成技术领域，包括基 于槽型波导阵列的超透镜结构和基于金属电阻 的电控加热器结构；其中，所述基于槽型波导阵 列

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