一种石英舟热处理装置2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117913005 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410080061.7 (22)申请日 2024.01.19 (71)申请人 浙江泓芯半导体有限公司 地址 324000 浙江省衢州市柯城区航埠镇 通航一路3号1幢、2幢、3幢 (72)发明人 兰锋　郑涛　郑俊　 (74)专利代理机构 衢州政通专利代理事务所 (普通合伙) 33415 专利代理师 陈丽嫦 (51)Int.Cl. H01L 21/673 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图8页 (54)发明名称 一种石英舟热处理装置 (57)摘要 本发明公开了一种石英舟热处理装置，属于 半导体加工。一种石英舟热处理装置，包括加热 室、用于承载晶圆的石英舟、用于加热石英舟与 晶圆的加热机构；所述石英舟包括连接件、两个 对称设置的转动安装在连接件上的转动半体；所 述转动半体上等间距设置有卡槽；两个转动半体 运动至相互靠近的位置时，石英舟上的各个晶圆 同轴排列，此时石英舟上相邻的两个晶圆的间隔 为第一距离；两个转动半体分离后，石英舟上相 邻的两个晶圆位于不同的转动半体上。本方案两 个转动半体分离，使奇数位和偶数位的晶圆位于 不同的转动半体上，增大晶圆之间的间距，让热 A 量更加方便的进入各个晶圆之间，提高晶圆热处 5 理的效率。 0 0 3 1 9 7 1 1