一种化学气相沉积设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574836 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210130187.1 (22)申请日 2022.02.11 (71)申请人 李涛 地址 102600 北京市大兴区黄村海子角黄 徐路东侧辛店小区A栋301室 (72)发明人 李涛　王俊　刘书凯　 (51)Int.Cl. C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 (54)发明名称 一种化学气相沉积设备 (57)摘要 本发明涉及化学气相沉积技术领域，具体为 一种化学气相沉积设备，包括箱体、铰接在箱体 上的箱盖、固定安装在箱盖上的进料口，所述箱 体的内壁上固定安装有缓冲箱，所述进料口的底 部与缓冲箱的上端连通，所述缓冲箱的内部固定 安装有第一固定杆，所述第一固定杆的下端设有 扇叶。本发明通过设置第一固定杆、扇叶、缓冲箱 等机构，待沉积气体由进料口进入箱体内部，利 用驱动设备带动扇叶旋转，旋转的扇叶在进料口 处形成气流，加快待沉积气体进入缓冲箱的速 度，待沉积气体通过通气孔扩散到缓冲箱的下 端，使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。 A 6 3 8 4 7 5 4 1 1 N C CN 114574836 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种化学气相沉积设备，包括箱体(1)、铰接在箱体