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PCT发明

在对准中用以减小标记大小的相位调制器

2023-04-28 09:58:10 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202080055723.5
  • 公开（公告）日：2025-02-28
  • 公开（公告）号：CN114207530A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司|||ASML控股股份有限公司
摘要：一种对准设备，包括照射系统，所述照射系统被配置成朝向对准目标引导一个或更多个照射束且从所述对准目标接收衍射束。所述对准设备也包括自参考干涉仪，所述自参考干涉仪被配置成产生两个衍射子束，其中所述两个衍射子束被正交地偏振、相对于彼此围绕对准轴线旋转180度且在空间上叠置。所述对准设备还包括：束分析器，所述束分析器被配置成产生所述衍射子束的叠置分量之间的干涉且产生两个正交偏振的光学支路；以及检测系统，所述检测系统被配置成基于所述光学支路的光强度测量确定所述对准目标的位置，其中所测量的光强度通过相位调制器在时间上调制。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114207530 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202080055723.5 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.08.05 代理人 张启程 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/884,702 2019.08.09 US G03F 9/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.01.30 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/072054 2020.08.05 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/028292 EN 2021.02.18 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 申请人 ASML控股股份有限公司 (72)发明人 F ·G ·C ·比基恩　M ·艾莱伊普　 S ·R ·胡伊斯曼　A ·J ·登鲍埃夫　 权利要求书2页 说明书23页 附图17页 (54)发明名称 在对准中用以减小标记大小的相位调制器 (

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