一种超细金刚石线锯的切割方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116494407 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310471546.4 (22)申请日 2023.04.27 (71)申请人 广东金湾高景太阳能科技有限公司 地址 519000 广东省珠海市金湾区三灶镇 湖滨路1566号 申请人 四川高景太阳能科技有限公司 (72)发明人 李益文　徐志群　冯秀鹏　汤琦　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 卢泽明 (51)Int.Cl. B28D 5/04 (2006.01) B28D 5/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种超细金刚石线锯的切割方法 (57)摘要 本发明涉及一种超细金刚石线锯的切割方 法，该方法包括：以硅方棒刚接触线网的位置为 零点，并沿收线轮至放线轮方向从坐标为‑1mm的 位置开始对硅方棒进行切割；切割时 ，采用超细 金刚石线对粘晶塑料板上的硅方棒进行分段式 切割，包括依次连续进行的低位切割阶段、中位 切割阶段和高位切割阶段，而且在切割过程，硅 方棒向超细金刚石线线网做单向匀变速运动，同 时超细金刚石线线网做往返循环运动。实现了超 细金刚石线锯对硅方棒的切割，能够有效的减低 断线，提高硅片生产的良率和品质，同时通过超 细金刚石线锯能够提高出片率，进而提高了硅片 A 的生产效率。 7 0 4 4 9 4