一种籽晶分离装置及使用方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116714125 A (43)申请公布日 2023.09.08 (21)申请号 202310951603.9 (22)申请日 2023.07.31 (71)申请人 安徽微芯长江半导体材料有限公司 地址 244000 安徽省铜陵市经济开发区西 湖三路680号 (72)发明人 王升　贺贤汉　涂小牛　忻隽　 (74)专利代理机构 铜陵市天成专利事务所(普 通合伙) 34105 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. B28D 5/04 (2006.01) B28D 5/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种籽晶分离装置及使用方法 (57)摘要 本发明公开了一种籽晶分离装置及使用方 法，涉及到碳化硅晶体技术领域，包括升降单元： 用于承载坩埚盖与籽晶并进行整体的高度调节； 线切割单元：用于对坩埚盖与籽晶之间的高温胶 层进行切割以使得坩埚盖与籽晶分离。本装置采 用线切割单元对较后的高温胶层进行切割处理， 可使得坩埚盖与带有晶体的籽晶安全且快速分 离，还包括调节上金刚线与下金刚线两线之间距 离以及自动调节金刚线张紧度的调节单元，可自 动保持金刚线张紧度的同时可调节上金刚线与 下金刚线之间的间距，以适应对不同厚度的高温 胶层的切割，扩大其使用范围。 A 5 2 1 4 1 7 6 1 1 N C CN 116714125 A