原创力.专利
用于沉积膜的方法
- 申请专利号：CN202080090123.2
- 公开（公告）日：2025-05-30
- 公开（公告）号：CN114867888A
- 申请人：弗萨姆材料美国有限责任公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114867888 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202080090123.2 M ·B ·拉奥 (22)申请日 2020.12.22 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (30)优先权数据 专利代理师 吴亦华 徐志明 62/954,053 2019.12.27 US (51)Int.Cl. (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/455 (2006.01) 2022.06.23 C23C 16/40 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 C23C 16/34 (2006.01) PCT/US2020/066553 2020.12.22 C23C 16/04 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 C23C 16/02 (2
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