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发明

一种衰减器加工方法及设备

2023-06-27 09:39:37 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202310230607.8
  • 公开（公告）日：2025-07-04
  • 公开（公告）号：CN116288240A
  • 申请人：山东微波电真空技术有限公司
摘要：本发明属于行波管加工技术领域，具体提供了一种衰减器加工方法及设备，包括外壳、供气组件、加热机构、夹持机构，外壳内部形成真空腔室；供气组件能够向真空腔室供给正庚烷气体；加热机构设于真空腔室中，加热机构能够向外辐射热量；夹持机构能够定位夹持杆，以使得夹持杆沿第一方向延伸并靠近加热面，进而使得夹持杆能够承接从加热机构辐射处的热量；加热机构具有楔形导热板，楔形导热板的外侧面形成加热面，楔形导热板的厚度沿第一方向依次变化，以调节夹持杆任意位置与加热面的距离，进而调节夹持杆不同位置的温度。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116288240 A (43)申请公布日 2023.06.23 (21)申请号 202310230607.8 C23C 16/46 (2006.01) C23C 16/04 (2006.01) (22)申请日 2023.03.07 C23C 16/52 (2006.01) (66)本国优先权数据 C23C 16/458 (2006.01) 202211733214.0 2022.12.30 CN C23C 16/448 (2006.01) (71)申请人 山东微波电真空技术有限公司 地址 250000 山东省济南市历城区王舍人 街道工业北路矿源路9号15号楼1楼 101室 (72)发明人 高闿阅　陈书超　 肖新来　周金　 张毅　董金伟　高志强　张彬　 (74)专利代理机构 济南千慧专利事务所(普通 合伙企业) 37232 专利代理师 孟令鲁 (51)Int.Cl. C23C 16/26 (2006.01)

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