一种光电器件加工用金属蒸镀设备2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117488249 A (43)申请公布日 2024.02.02 (21)申请号 202311469280.6 (22)申请日 2023.11.07 (71)申请人 马鞍山欧大传感科技有限公司 地址 243100 安徽省马鞍山市当涂县经济 开发区涂山大道1号1408室 (72)发明人 刘顺　 (74)专利代理机构 合肥左心专利代理事务所 (普通合伙) 34152 专利代理师 吴朝 (51)Int.Cl. C23C 14/26 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种光电器件加工用金属蒸镀设备 (57)摘要 本申请涉及蒸镀设备技术领域，公开了一种 光电器件加工用金属蒸镀设备，包括蒸发源结 构，所述蒸发源结构包括坩埚，坩埚的内侧壁有 一部分设有加热板或加热丝，所述坩埚内设有隔 板，所述隔板固定连接有固定构件，所述隔板通 过弹性片连接有滑动板，所述滑动板的中部设有 连接罩，所述滑动板连接有喷头，所述喷头穿过 固定构件并与固定构件固定连接。利用隔板将坩 埚内分割成多个小腔体，将液体分散，减少液体 回流时撞击隔板的冲击力，喷头位于滑动板中 心，其次，在膨胀时受力均匀，降低喷头方向偏移 的风险，同时，由于的隔板位置相对固定，利用隔 A 板为锚定位置，保证在膨胀或收缩时的中心位置 9 不变，进而保证喷头位置不变。 4 2 8 8 4 7 1 1 N C CN 1174882