1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 作业/运输
发明

热处理装置以及热处理方法

2023-08-25 07:23:43 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202310051976.0
  • 公开（公告）日：2025-06-06
  • 公开（公告）号：CN116618260A
  • 申请人：芝浦机械电子装置株式会社
摘要：本发明提供一种热处理装置以及热处理方法，不会使生产性下降而确保腔室内的洁净度，提高工件的品质。实施方式的热处理装置(1)具有：腔室(10)，可维持比大气压减压的环境；排气部(40)，连接于腔室(10)，对腔室(10)内进行排气；支撑部(30)，支撑被收容在腔室(10)内的工件(W)；加热部(50)，进行在工件(W)被支撑于支撑部(30)的状态下对工件(W)进行加热的第一加热，且进行在工件(W)未被支撑于支撑部(30)的状态下以比第一加热快的升温速度对腔室(10)内进行加热的第二加热；以及供气部(60)，在所述第一加热后以及所述第二加热后对腔室内供给气体，由此来进行冷却。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116618260 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310051976.0 B05D 3/04 (2006.01) (22)申请日 2023.02.02 (30)优先权数据 2022-024913 2022.02.21 JP 2022-200930 2022.12.16 JP (71)申请人 芝浦机械电子装置株式会社 地址 日本神奈川县横浜市荣区笠间二丁目 5番1号(邮递区号:247-8610) (72)发明人 高桥崇史　矶明典　武藤真　 木村哲明　 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 专利代理师 陈亚男　黄健 (51)Int.Cl. B05D 3/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书15页 附图6页 (54)发明名称 热处理装置以及热处理方法 (57)摘要 本发明提供一种热处理装置以及热处理方 法，不会使生产性下降而确保腔室内的洁净度， 提高工件的品质。实施方式的热处理装置 (1)具 有：腔室(10) ，可维持比大气压减压的环境；排气 部(40) ，连接于腔室 (10)，对腔室 (10)内进行排 气；支撑部 (30)，支撑被收容在腔室 (10)内的工 件(W) ；加热部 (50)，进行在工件(W)被支撑于支 撑部(30)的状态下对工件(W)进行

最新专利

相关专利