一种晶圆分选设备及分选方法2025
- 申请专利号:CN202311744052.5
- 公开(公告)日:2025-06-03
- 公开(公告)号:CN117415035A
- 申请人:无锡星微科技有限公司杭州分公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117415035 A (43)申请公布日 2024.01.19 (21)申请号 202311744052.5 (22)申请日 2023.12.19 (71)申请人 无锡星微科技有限公司杭州分公司 地址 310000 浙江省杭州市翠苑街道翠苑 二区8-2幢配套用房1740室 (72)发明人 陆敏杰 王兆昆 (74)专利代理机构 北京国翰知识产权代理事务 所(普通合伙) 11696 专利代理师 叶帅东 (51)Int.Cl. B07C 5/00 (2006.01) B07C 5/02 (2006.01) B07C 5/36 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图6页 (54)发明名称 一种晶圆分选设备及分选方法 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆分选设备及分选方 法,属于晶圆分选技术领域,该晶圆分选设备包 括分选本体,分选本体内部配置有分选腔室,分 选本体配置有上下料口,用于进料和出料;分选 腔室的内部配置有机械手,用于实现晶圆的转 移;分选本体的外壁配置有进气口和出气口;进 气口配置有预处理组件;预处理组件包括壳体, 壳体配置有进风口和出风口,壳体的出风口与分 选本体的进气口对应设置;壳体的内部配置有过 滤组件,用于对进入分选腔室内部的气体进行过 滤。采用本发明的分选设备及分选方法对进入到 分选腔室内部的空气进行过滤并快速提高分选 A 腔室内部温度的均衡度,保证分选工序在适宜的
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