一种晶圆分选设备及分选方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117415035 A (43)申请公布日 2024.01.19 (21)申请号 202311744052.5 (22)申请日 2023.12.19 (71)申请人 无锡星微科技有限公司杭州分公司 地址 310000 浙江省杭州市翠苑街道翠苑 二区8-2幢配套用房1740室 (72)发明人 陆敏杰　王兆昆　 (74)专利代理机构 北京国翰知识产权代理事务 所(普通合伙) 11696 专利代理师 叶帅东 (51)Int.Cl. B07C 5/00 (2006.01) B07C 5/02 (2006.01) B07C 5/36 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图6页 (54)发明名称 一种晶圆分选设备及分选方法 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆分选设备及分选方 法，属于晶圆分选技术领域，该晶圆分选设备包 括分选本体，分选本体内部配置有分选腔室，分 选本体配置有上下料口，用于进料和出料；分选 腔室的内部配置有机械手，用于实现晶圆的转 移；分选本体的外壁配置有进气口和出气口；进 气口配置有预处理组件；预处理组件包括壳体， 壳体配置有进风口和出风口，壳体的出风口与分 选本体的进气口对应设置；壳体的内部配置有过 滤组件，用于对进入分选腔室内部的气体进行过 滤。采用本发明的分选设备及分选方法对进入到 分选腔室内部的空气进行过滤并快速提高分选 A 腔室内部温度的均衡度，保证分选工序在适宜的