1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 化学/冶金
发明

化学气相沉积反应腔

2023-05-24 13:30:14 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202011165028.2
  • 公开（公告）日：2025-03-25
  • 公开（公告）号：CN112176324A
  • 申请人：苏州雨竹机电有限公司
摘要：本发明所提供的化学气相沉积反应腔，为一种面下型(Face Down)反应腔，能使基板(晶圆)以反应面朝下的方式与反应气体进行接触，让粉尘因为重力关往下沉降而不容易附着于基板的反应面，以改善因粉尘飘散而造成的良率损失问题。其次，而为了达到高产能力，本发明在化学气相沉积反应腔之中设置便于自动化生产作业的基板承载装置，以使基板的放置、收取更为便捷，进而达到高产量能力的效果。再者，基板承载装置还能导入气浮气体，以使基板悬浮与旋转，让基板的受热效果更为均匀与精确，进而改善基板成膜效果更不均的问题。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112176324 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202011165028.2 (22)申请日 2020.10.27 (30)优先权数据 109122782 2020.07.06 TW (71)申请人 苏州雨竹机电有限公司 地址 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自 由贸易试验区苏州片区苏州工业园区 苏虹中路39号2幢2楼西侧 (72)发明人 吴铭钦　刘峰　 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569 代理人 王富强 (51)Int.Cl. C23C 16/46 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 (54)发明名称 化学气相沉积反应腔 (57)摘要 本发明所提供的化学气相沉积反应腔，为一 种面下型(Face Down)反应腔，能使基板(晶圆) 以反应面朝下的方式与反应气体进行接触，让粉 尘因为重力关往下沉降而不容易附着于基板的 反应面，以改善因粉尘飘散而造成的良率损失问 题。其次，而为了达到高产能力，本发明在化学气 相沉积反应腔之中设置便于自动化生产作业的 基板承载装置，以使基板的放置、收取更为便捷， 进而达到高产量能力的效果。再者，基板承载装 置还能导入气浮气体，以使基板悬浮与旋转，让 基板的受热效果更为均匀与精确，

最新专利

相关专利