一种晶振测量系统及测量方法和装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112458407 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011360421.7 (22)申请日 2020.11.27 (71)申请人 江苏集萃有机光电技术研究所有限 公司 地址 215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇 汾湖大道1198号 (72)发明人 廖良生　徐蒙蒙　陈千里　王江南　 张川　史晓波　冯敏强　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 孟金喆 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图3页 (54)发明名称 一种晶振测量系统及测量方法和装置 (57)摘要 本发明实施例公开了一种晶振测量系统及 测量方法和装置，晶振测量系统包括移动载台、 蒸镀源、可旋转晶振探头以及基板，晶振测量系 统用于测量蒸镀速率以及调节晶振探头与蒸镀 源之间位置关系；该测量方法包括：获取晶振探 头的位置信息；调取与位置信息所对应的膜厚调 整参数TF；测试得到晶振探头的探头测量速率 V1，并计算得到基板的材料实际蒸镀速率V2，V2 ＝V1*TF；若V1和V2中至少一种不满足蒸镀源所 对应的预设蒸镀条件，则调整蒸镀源的功率和/ 或晶振探头的位置，直至调整后V1和V2满足预设 蒸镀条件；若V1和V2满足预设蒸镀条件，则进行